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J-GLOBAL ID：201302210481464535   整理番号：13A0814701

Ru被覆MoSi多層ブランクの表面密着性に及ぼす被爆の影響

Effect of radiation exposure on the surface adhesion of Ru-capped MoSi multilayer blanks

著者 (3件)： DURKAYA Goeksel (SEMATECH, NY) ,  RASTEGAR Abbas (SEMATECH, NY) ,  KURTULDU Hueseyin (SEMATECH, NY)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8522  ページ： 852214.1-852214.6  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 輻射が欠陥に及ぼす影響をより良く理解することはRu被覆MoSi多層ブランクの安定性を改善する上で重要である。ここでは,Ru被覆MoSi多層の表面吸着特性に及ぼす被爆の影響を光学照射(172nm,532nm,そして,1064nm)を用いて研究した。波長に関わらず,欠陥の表面密着性は被爆を受けると増加し,レーザパワーに比例する。密着性の変化を表面ラフネスと比較する。種々の波長において,表面の化学修飾と欠陥の光学吸収は種々の貢献を行う。

シソーラス用語： *フォトマスク ,  *リソグラフィー ,  *フォトレジスト ,  ルテニウム ,  モリブデン化合物 ,  ケイ素化合物 ,  密着性 ,  放射線照射

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ru ,  多層 ,  ブランク ,  密着性 ,  被爆