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J-GLOBAL ID：201302210845607841   整理番号：13A1791742

切断アプリケーション用の電力伝達を改良したシリコン微小加工超音波変換器

Silicon micromachined ultrasonic transducer with improved power transfer for cutting applications

著者 (14件)： FRIEDRICH Franz (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  FRIEDRICH Franz (Medos International, Le Locle, CHE) ,  LOCKHART Robert (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  BRIAND Danick (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  ISARAKORN Don (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  ISARAKORN Don (King Mongkut’s Inst. Technol., Ladkrabang, Bangkok, THA) ,  MARGAIRAZ Philippe (Medos International, Le Locle, CHE) ,  SANDOZ Jean-Paul (Haute Ecole Arc Ingenierie, La Chaux-de-Fonds, CHE) ,  BROSSARD Julien (Haute Ecole Arc Ingenierie, La Chaux-de-Fonds, CHE) ,  KEPPNER Herbert (Haute Ecole Arc Ingenierie, La Chaux-de-Fonds, CHE) ,  OLSON William (Ethicon Endo-Surgery, Cinncinati, USA) ,  DIETZ Timothy (Ethicon Endo-Surgery, Cinncinati, USA) ,  DE ROOIJ Nico F. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel, CHE) ,  BURGER Juergen (Medos International, Le Locle, CHE)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2012 Vol.2  ページ： 1169-1172  発行年： 2012年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超音波変換器を使ったツールは各種外科治療で使われている。多くの特徴があるが,そのサイズ,コストなどの問題で利用範囲が限られている。本稿では,シリコン超音波ツールの考え方に基づく低コストの超音波マイクロカッタについて報告した。シリコンは音と熱の伝導性がよく,現在使われているチタン合金と比べて密度が低く,さらに比較的高いYoung率のため,異方性エッチングのような微小加工によるバッチ処理で低コストで製作できる。FEMシミュレーションとDoppler振動計による測定でその性能を検証した。ニワトリの肉を使って性能確認を行った。

シソーラス用語： *超音波変換器 ,  *ケイ素 ,  微細加工 ,  外科術 ,  *メス ,  超音波 ,  Young率 ,  エッチング ,  異方性 ,  計算機シミュレーション ,  有限要素法 ,  原価低減
準シソーラス用語： FEMシミュレーション ,  シリコン ,  異方性エッチング ,  外科治療 ,  *超音波駆動メス ,  低コスト化 ,  微小加工

分類 (2件)： その他の音響応用  (BB03100I) ,  手術  (GC07040B)

タイトルに関連する用語 (4件)： アプリケーション ,  シリコン ,  微小加工 ,  超音波変換器