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J-GLOBAL ID：201302211056999022   整理番号：13A0989044

プログラマブルステップ減衰器を用いたテラヘルツ時間領域分光法におけるパワー線形性の検証

Validation of Power Linearity in Terahertz Time-Domain Spectroscopy Using a Programmable Step Attenuator

著者 (6件)： IIDA Hitoshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  KINOSHITA Moto (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  SHIMADA Yozo (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  KURODA Hideki (Otsuka Electronics Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  KITAGISHI Keiko (Otsuka Electronics Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  IZUTANI Yusuke (Otsuka Electronics Co., Ltd., Osaka, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 62  号： 6  ページ： 1801-1806  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メタライズフィルム減衰器(MFA)を積層したプログラマブルテラヘルツ(THz)ステップ減衰器を開発した。25μm厚みのポリエステル薄膜上にインコネル合金をスパッタリング蒸着してMFAを作製した。合金層の厚みによって透過度を変えた。THz時間領域分光法(TDS)を用いてMFAの平坦度と再現性が良好であることを確認した。基準として3dB MFAの透過度の反復測定を行うTHz-TDS線形性評価法も開発した。

シソーラス用語： 減衰器 ,  ポリエステル ,  *タイムドメイン分光法 ,  高分子薄膜 ,  線形性 ,  インコネル ,  スパッタ蒸着 ,  透過率 ,  積層構造 ,  検証 ,  合金薄膜
準シソーラス用語： *テラヘルツ時間領域分光法 ,  較正曲線 ,  評価法

分類 (1件)： 分光法と分光計一般  (BD07041Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 減衰器 ,  テラヘルツ時間領域分光法 ,  パワー ,  線形性 ,  検証