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J-GLOBAL ID：201302211495452609   整理番号：13A1200085

ロール・ツー・ロールナノインプリントプロセス用フィルム型の開発及びその応用

Development of Film Mold for Roll to Roll Nanoimprintg Process and its Application

著者 (4件)： SUTO Yasuo (Soken Chemical & Engineering Co., Ltd., Saitama-ken, JPN) ,  MIZAWA Takahide (Soken Chemical & Engineering Co., Ltd., Saitama-ken, JPN) ,  MIZUKAMI Yutaka (Soken Chemical & Engineering Co., Ltd., Saitama-ken, JPN) ,  TAKAHASHI Takanori (Soken Chemical & Engineering Co., Ltd., Saitama-ken, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 26  号： 1  ページ： 125-128  発行年： 2013年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノインプリント技術(NIT)はミクロ成形技術の方法として発達してきた。ロール・ツー・ロールプロセスがNITに適用されてきた。何故なら高生産性及びコスト低減が実際の大量生産を達成するために必須であるからである。この研究では,自社開発UV硬化性樹脂からなるフィルム型を開発し,フィルム型をUVロール・ツー・ロールナノインプリントプロセスに適用した。フィルム型は,いくつかの優れた特性,優秀な離型性,紫外可視領域での高透過性及び適宜な機械的性質を示した。得られた転写製品は,1500mインプリント後も著しい欠陥無しに高転写精度を有した。転写製品のパターン寸法は,1から5m/分のライン速度で殆ど一定であった。さらに,種々のナノ及びミクロ転写製品も同様に得られた。これらの結果は,開発したフィルム型が,UVロール・ツー・ロールナノインプリントプロセスへの適用により,実際の大量生産に適していることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 生産方式 ,  *押付成形 ,  パターン形成 ,  転写 ,  精度 ,  *型 ,  *膜 ,  生産性 ,  原価低減 ,  大量生産 ,  性質
準シソーラス用語： *UVナノインプリント ,  ナノインプリント ,  ロール・ツー・ロール ,  高生産性 ,  離型性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光化学反応  (CB08020F)

引用文献 (9件)：

• 1. S. Y. Chou, P. R. Krauss, and p. J. Renstrom: J.Vac. Sci. Technol.B.,, 14 (1996) 4129.
• 2. M. D. Austin, H. Ge, W. Wu, M. Li, Z Yu, D.Wasserman, S. A. Lyon, and S. Y. Chou: Appl. Phy. Lett., 84 (2004) 5299.
• 3. W. Wu, B. Cui, X. Sun, W. Zhang, L. Zhuang, L. Kong and S. Y. Chou: J.Vac. Sci. Technol.B, 16 (1998) 3825.
• 4. F. Reuther. J. Photopolym. Sci. Technol., 18 (2005) 525.
• 5. Y. Kurashima, H. Hiroshima, M. Komuro, N. Yamazaki, J. Taniguchi and I. Miyamoto., Jpn. J. Appl. Phys., 44 (2005) 5617

タイトルに関連する用語 (3件)： フィルム ,  開発 ,  応用