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J-GLOBAL ID：201302212494304173   整理番号：13A0823017

超高感度角度センサに関する研究

著者 (4件)： 村田大 (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.N31  発行年： 2013年02月27日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,半導体デバイスや光学素子の微細化に伴って,それらの製造・検査に用いられている精密ステージには高精度な位置決めが要求されている。角度センサはレーザオートコリメーション法を用いて精密ステージの位置決め誤差の要因となる微小な姿勢変化を計測するセンサである。本報では,センサのレーザービーム径を拡大することで受光素子上の光スポット径を小径化し,角度検出感度の高感度化を行った結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 高感度 ,  *センサ ,  体位変換 ,  *レーザビーム ,  長さ ,  小口径 ,  感度 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： *角度センサ ,  スポットサイズ ,  検出感度

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高感度 ,  角度センサ ,  研究