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J-GLOBAL ID：201302212995473439   整理番号：13A1149137

2軸圧電MEMS傾斜センサーの自己較正温度独立モデル

A Self-Calibrating Temperature Independent Model of a Bi-Axial Piezoelectric MEMS Tilt Sensor

著者 (4件)： MOUBARAK Paul M. (George Washington Univ., Washington, DC, USA) ,  BARSKY Danielle A. (George Washington Univ., Washington, DC, USA) ,  BEN-TZVI Pinhas (George Washington Univ., Washington, DC, USA) ,  ZAGHLOUL Mona (George Washington Univ., Washington, DC, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8373  ページ： 83732L.1-83732L.7  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2軸圧電傾斜測定デバイスは,2本の軸の周辺でセンサー出力の自己較正表現を生成する提案された方法を用いて,モデル化される。一般的に,圧電ベースのセンサーの出力はその幾何学的特性,電気機械的特性および圧電特性の直接的な関数としてモデル化される。これは,センサーの出力の正確な表現が,その特性についての正確な知識を必要とすることを意味する。しかしながらこのような情報は,利用できないか,または外部の刺激に影響されやすい近似値の形でしか与えられない。本方法は,圧電システムの動作についてアプリオリに与えられるデータの関数として,直接的な圧電効果をモデル化する。提案されたモデルの妥当性は,2軸傾斜測定のための新規な圧電デバイスについて実行されるシミュレーションによって,実証される。

シソーラス用語： *二軸 ,  *圧電センサ ,  *MEMS ,  *傾斜計 ,  圧電素子 ,  *キャリブレーション ,  姿勢 ,  ピッチ【機械要素】 ,  ロール ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： 傾斜センサ ,  自己較正 ,  PZT【鉛化合物】

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 2軸 ,  圧電 ,  MEMS ,  傾斜センサー ,  自己 ,  較正 ,  モデル