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J-GLOBAL ID：201302213181978412   整理番号：13A1895964

スパッター蒸着したFe-Si-O非晶質薄膜から熱アニーリングで析出したε-Fe₂O₃のマイクロ波吸収

Microwave absorption of ε-Fe₂O₃ precipitated from sputter deposited Fe-Si-O amorphous thin film by thermal annealing

著者 (5件)： SAWADA Akinori (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN) ,  MASUBUCHI Yuji (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN) ,  MOTOHASHI Teruki (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN) ,  SASAKI Masahide (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Hokkaido 2-17-2-1, Tsukisamu-Higashi, Toyohira-ku, Sapporo ...) ,  KIKKAWA Shinichi (Fac. of Engineering, Hokkaido Univ., N13W8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 115  ページ： 198-200  発行年： 2014年01月15日 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： rf-スパッター蒸着したFe-Si-O非晶質膜を熱アニーリングして粒状磁性薄膜を作成した。析出したFe₂O₃の粒子サイズを制御して,目標化学組成がSiO₂/Fe₂O₃=2の原子比になるように調整し,900°Cで1から3時間のアニーリングを行って純粋なε相を得た。100分間アニールした膜に対しては,殆ど対称的な強磁性共鳴信号が観察され,非晶質シリカマトリックス中に残留第二鉄イオンの存在する証拠は無かった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *磁性薄膜 ,  *酸化鉄 ,  *ε相 ,  蒸着膜 ,  熱処理 ,  化学組成 ,  酸化ケイ素 ,  ナノ粒子 ,  *ESR【磁気共鳴】 ,  強磁性共鳴 ,  *電磁波吸収
準シソーラス用語： *マイクロ波吸収 ,  原子比 ,  *酸化第二鉄 ,  熱アニーリング

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： スパッター蒸着 ,  Fe ,  Si ,  非晶質薄膜 ,  熱アニーリング ,  析出 ,  Fe2O3 ,  マイクロ波吸収