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J-GLOBAL ID：201302213674711296   整理番号：13A0566946

感光性ポリイミドを用いた有機薄膜トランジスタ用ソースおよびドレイン電極の簡易フォトパターニング

Facile photo-patterning of source and drain electrodes with photo-sensitive polyimide for organic thin-film transistors

著者 (9件)： YOON Jun-young (Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol., 141 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-600, KOR) ,  YOON Jun-young (Dep. of Polymer Sci. and Engineering, Chungnam National Univ., 99 Daehak-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-764, KOR) ,  WEE Duyoung (Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol., 141 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-600, KOR) ,  KIM Yun Ho (Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol., 141 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-600, KOR) ,  KA Jae-won (Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol., 141 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-600, KOR) ,  JEONG Sunho (Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol., 141 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-600, KOR) ,  HONG Sung-kwon (Dep. of Polymer Sci. and Engineering, Chungnam National Univ., 99 Daehak-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-764, KOR) ,  YI Mi Hye (Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol., 141 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-600, KOR) ,  JANG Kwang-suk (Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol., 141 Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon 305-600, KOR)
資料名： Synthetic Metals  (Synthetic Metals)
巻： 163  ページ： 47-50  発行年： 2013年01月01日 
JST資料番号： C0123B  ISSN： 0379-6779  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機薄膜トランジスタ(OTFTs)のパターン化ソースとドレインを得るための,安易で費用効果がよいフォトパターニングプロセスを報告した。このフォトパターニングプロセスでは,従来のフォトレジストの代わりに,感光性ポリイミド(PSPI)を使用した。ケイ皮酸エステル残基を持つPSPIは,いかなる光開始剤無しでも,紫外線露光により架橋することができた。この研究のフォトパターニングプロセス後,金/PSPI二分子層電極を容易に調製し,そして,それらをペンタセンOTFTのソースおよびドレイン電極として使用した。金/PSPI二分子層電極を持つペンタセンOTFTのフィールド効果キャリア移動度,閾電圧およびオン/オフ動作電流比は,それぞれ,0.067cm²/Vs,-5.3Vおよび1.4×10⁴であった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *薄膜トランジスタ ,  *パターン形成 ,  ポリイミド ,  感光性高分子 ,  ドレイン【半導体】 ,  ソース【半導体】 ,  金電極 ,  二分子層 ,  キャリア移動度 ,  電圧 ,  比率
準シソーラス用語： スイッチング電流比 ,  感光性ポリイミド ,  *有機薄膜トランジスタ ,  閾電圧 ,  OTFT

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  その他の高分子の反応  (CG03040H)

物質索引 (2件)： 3-メチル-5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物 ,  けい皮酸3,5-ジアミノベンジル

タイトルに関連する用語 (7件)： 感光性ポリイミド ,  有機薄膜トランジスタ ,  ソース ,  ドレイン ,  簡易 ,  フォト ,  パターニング