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J-GLOBAL ID：201302213777761119   整理番号：13A0962084

ポリアルミノカルボシラン(PACS)由来の近化学量論自立型SiC(Al)膜の生成に及ぼす酸化処理およびAl原子の影響

Effects of oxidation curing and Al atoms on the formation of near-stoichiometric freestanding SiC(Al) films derived from polyaluminocarbosilane (PACS)

著者 (8件)： YAO Rongqian (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Coll. of Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  YAO Rongqian (Fujian Provincial Key Lab. of Advanced Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  FENG Zude (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Coll. of Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  FENG Zude (Fujian Provincial Key Lab. of Advanced Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  CHEN Lifu (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Coll. of Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  CHEN Lifu (Fujian Provincial Key Lab. of Advanced Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  ZHANG Ying (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Coll. of Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN) ,  ZHANG Ying (Fujian Provincial Key Lab. of Advanced Materials, Xiamen Univ., Xiamen 361005, CHN)
資料名： Journal of the European Ceramic Society  (Journal of the European Ceramic Society)
巻： 33  号： 10  ページ： 1675-1683  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： E0801B  ISSN： 0955-2219  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリアルミノカルボシラン(PACS)前駆体の溶融紡糸法による自立型SiC(Al)膜の生成と微細組織に及ぼす酸素ピックアップとAl原子の影響を研究した。PACS未焼成膜をそれぞれ900°C,1,2,3および4hの予備熱分解で架橋した。1800°Cで連続的に熱分解して,初期のPACSをSiC(Al)膜に変換した。実験結果から,近化学量論組成SiC(Al)膜の生成には,酸化処理中の厳密な酸素濃度の制御が不可欠であることが分かった。緻密膜の微細組織はβ-SiC結晶,α-SiCナノ結晶炭素クラスタおよび少量のAl₄O₄CとAl₄SiC₄から構成されていた。焼結助剤と粒成長抑制の重要な役割を担うAl原子は,安定した組成と組織のため,膜中に良好に分散していた。優れた機械的性質を持つSiC(Al)膜は,過酷環境下の微小電気機械システム(MEMS)用の候補材料に注目される。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *セラミック膜 ,  *炭化ケイ素 ,  膜 ,  *MEMS ,  溶融紡糸 ,  ポリカルボシラン ,  化学量論 ,  *微細構造 ,  酸素 ,  ピックアップトラック ,  アルミニウム ,  結晶構造 ,  熱分解 ,  濃度 ,  クラスタ ,  ナノ結晶 ,  助剤 ,  結晶粒微細化 ,  機械的性質 ,  焼結性 ,  FTIR分光法 ,  X線回折分析 ,  Ramanスペクトル ,  X線光電子分光法 ,  反応機構 ,  電子顕微鏡観察 ,  酸化
準シソーラス用語： 自立膜 ,  微細組織 ,  酸素濃度 ,  焼結助剤 ,  走査電子顕微鏡法 ,  透過型電子顕微鏡法

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： PACS ,  化学量論 ,  自立 ,  SiC ,  Al ,  酸化処理 ,  Al原子