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J-GLOBAL ID：201302213962359637   整理番号：13A1686370

パラジウム触媒カップリング反応によるSi表面の機能化 アルケニル単分子層の際立った安定性

Palladium-Catalyzed Coupling Reactions for the Functionalization of Si Surfaces: Superior Stability of Alkenyl Monolayers

著者 (8件)： COLLINS Gillian (Univ. Coll. Cork, Cork, IRL) ,  COLLINS Gillian (Trinity Coll., Dublin, IRL) ,  O’DWYER Colm (Univ. Coll. Cork, Cork, IRL) ,  O’DWYER Colm (Univ. Limerick, Limerick, IRL) ,  MORRIS Michael (Univ. Coll. Cork, Cork, IRL) ,  MORRIS Michael (Trinity Coll., Dublin, IRL) ,  HOLMES Justin D. (Univ. Coll. Cork, Cork, IRL) ,  HOLMES Justin D. (Trinity Coll., Dublin, IRL)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 29  号： 38  ページ： 11950-11958  発行年： 2013年09月24日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 清浄なSiウエハを2.5%HFに1分間浸漬した後,脱酸素40%HFに15分浸漬して,表面を末端水素化したSi-Hに対して,Suzuki,HeckもしくはSonogashiraの方法に従い,先ずヒドロシリル化反応により,Si表面に末端にハロゲン化物,アルケン基(スチレン誘導体),もしくはアルキン基フェニルアセチレン誘導体)を持つ有機分子単分子層を形成させた。次いで,それぞれとフルオロフェニルボロン酸,3,4-ジフルオロヨードベンゼン,4-ヨードベンゾトリフルオリドとのパラジウム触媒を用いるカップリング反応により,フルオロベンゼン,ジフルオロベンゼン,トリフルオロトルエンを付加した。これら2段階反応中の表面酸化と金属汚染をX線光電子スペクトルにより調べ,酸化抑制には最初の保護層が重要な働きをし,特にアルケニル単分子層はアルケン単分子層に比べ際立った安定性を与えた。

シソーラス用語： *パラジウム触媒 ,  *カップリング反応 ,  *表面改質 ,  ウエハ【IC】 ,  *アルケニル化 ,  単分子層 ,  *安定性 ,  ヒドロシリル化 ,  アセチレン化合物 ,  ハロゲン化 ,  酸化 ,  重金属汚染 ,  X線光電子スペクトル ,  化学修飾 ,  芳香族ヨウ素化合物 ,  芳香族フッ素化合物
準シソーラス用語： *アルケニル単分子層 ,  *シリコンウエハ ,  表面酸化 ,  末端アルキン

分類 (5件)： 界面化学一般  (CB12010J) ,  不均一系触媒反応  (CB06100E) ,  付加反応,脱離反応  (CF02030M) ,  応用物理化学的操作・装置  (XE03000E) ,  芳香族単環ハロゲン化合物  (CF05030H)

物質索引 (8件)： 3-フルオロフェニルボロン酸 ,  4-ブロモフェニルアセチレン ,  p-ブロモスチレン ,  α,α,α-トリフルオロトルエン ,  フルオロベンゼン ,  o-ジフルオロベンゼン ,  1,2-ジフルオロ-4-ヨードベンゼン ,  1-ヨード-4-(トリフルオロメチル)ベンゼン

タイトルに関連する用語 (5件)： パラジウム触媒 ,  カップリング反応 ,  Si ,  単分子層 ,  安定性