文献

J-GLOBAL ID：201302214516498190   整理番号：13A0427156

スパッタ収率の温度依存性に関するMD研究

MD study on temperature dependence of sputtering yield

著者 (1件)： MURAMOTO T
資料名： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
巻： 267  号： 18  ページ： 3232-3234  発行年： 2009年 
JST資料番号： O4401A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  収率 ,  温度依存性 ,  Md ,  研究