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J-GLOBAL ID：201302214633433660   整理番号：11A0035155

高いデポジション効率を持つネオジム前駆体を使った液体配送MOCVDによる(Bi,Nd)(4)Ti3O12薄膜の低温製法

Low temperature preparation of (Bi,Nd)(4)Ti3O12 thin films by liquid-delivery MOCVD using neodymium precursors with high deposition efficiency

著者 (6件)： TASAKI Y ,  SEKITA Y ,  TANAKA T ,  YODA K ,  NITTAMACHI T ,  YOSHIZAWA S
資料名： INTEGRATED FERROELECTRICS
巻： 81  ページ： 271-279  発行年： 2006年 
JST資料番号： O2885A  ISSN： 1058-4587  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (9件)： ネオジム ,  前駆体 ,  配送 ,  MOCVD ,  Bi ,  Nd ,  薄膜 ,  低温 ,  製法