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J-GLOBAL ID：201302215922811068   整理番号：13A0228983

超バリアフィルムの最適化したロール・ツー・ロール原子層蒸着におけるプラズマガス組成の役割

The Role of Plasma Gas Composition in Optimized Roll-to-Roll Atomic Layer Deposition of Ultra Barrier Films

著者 (2件)： BARROW W. A. (Lotus Applied Technol., OR) ,  DICKEY E. R. (Lotus Applied Technol., OR)
資料名： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 55th  ページ： 669-674  発行年： 2012年 
JST資料番号： E0063B  ISSN： 0737-5921  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層蒸着によってポリマー上に単層の優れた湿度バリアが作製できる。金属源とプラズマ化した酸素雰囲気の間を連続的に通過させるロール・ツー・ロール方法で,PET膜上へTiO₂またはAl₂O₃バリア層を被覆した。金属源はTiCl₄とトリメチルアルミニウム(TMA)を用いた。TiCl₄はO₂,CO₂および空気と低温では反応しないが,TMAは酸素が分解してできるオゾンと反応するため,不十分なAl₂O₃しかできない。TiCl₄および79%N₂-21%CO₂ガスを使用して10m/min以上の速度でTiO₂膜を製膜した場合,10^-4g/m²/日程度の水蒸気バリアが形成されることを確認した。

シソーラス用語： 化学蒸着 ,  *単原子層 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  被覆層 ,  *保護膜 ,  *酸化チタン ,  アルミナ ,  塩化チタン ,  堆積速度 ,  水蒸気 ,  *ガスバリヤ性 ,  混合気体 ,  プラズマ
準シソーラス用語： ガス組成 ,  ロール・ツー・ロール方式

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： バリアフィルム ,  最適化 ,  ロール・ツー・ロール ,  原子層蒸着 ,  プラズマ ,  ガス組成 ,  役割