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J-GLOBAL ID：201302216629784044   整理番号：13A1235395

位相トラッキングに基づく超精度位置決めプラットフォームの研究

Research on ultra-precision positioning platform based on phase tracking

著者 (4件)： Zhu Weibin (Coll. of Electrical Engineering,Zhejiang Univ., Hangzhou) ,  Zhu Shan’an (Coll. of Electrical Engineering,Zhejiang Univ., Hangzhou) ,  Ye Shuliang (Coll. of Metrology and Measurement Engineering,China Jiliang Univ., Hangzhou) ,  Yan Junfang (Coll. of Metrology and Measurement Engineering,China Jiliang Univ., Hangzhou)
資料名： Yiqi Yibiao Xuebao  (Yiqi Yibiao Xuebao)
巻： 33  号： 10  ページ： 2301-2306  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2448A  ISSN： 0254-3087  CODEN： YYXUDY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： この論文は位相トラッキングに基づく新しい位置決定法を導入する。システムは,超精度位置決めの需要を満たすように設計されている。信号発生,条件付け,位相復調,および駆動回路モジュールについて詳細に記述する。多くの実験を実施し,線形性,ヒステリシス,再現性,および安定化誤差をテストした。システムの不確実性はテストされたデータに基づいて合成する。そして結果は,変位不確実性が6.10nm未満であることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *計算機システム ,  追跡 ,  回路モジュール ,  ヒステリシス ,  不確実性 ,  信号発生 ,  システム ,  位置決め ,  駆動回路 ,  条件付け
準シソーラス用語： *プラットフォーム【計算機】 ,  トラッキング ,  位置決定

分類 (1件)： システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 位相 ,  トラッキング ,  プラットフォーム ,  研究