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J-GLOBAL ID：201302217018070352   整理番号：13A0072394

Co₆₀Fe₂₀B₂₀薄膜のナノインデンテーション特性への粒径による影響

Effect of grain size on nano-indentation property of Co₆₀Fe₂₀B₂₀ thin film

著者 (2件)： CHEN Yuan-tsung (Dep. of Materials Sci. and Engineering, I-Shou Univ., Kaohsiung 840, Taiwan, TWN) ,  WU Chia-wen (Dep. of Materials Sci. and Engineering, I-Shou Univ., Kaohsiung 840, Taiwan, TWN)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 551  ページ： 360-364  発行年： 2013年02月25日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Co₆₀Fe₂₀B₂₀薄膜のナノ機械的性質とそれらへの粒径による影響を調べた。厚さ1000~5000Åの膜をガラス基板にスパッタリングした。基板温度は室温とし,ポストアニールは150,250及び350°Cで1hとした。高分解能TEMで粒径分布を調べた。制限視野電子線回折からCoFeB薄膜はナノ結晶性体心立方構造で,強いCoFeB(110)結晶化を示した。アニール温度が高い程,大きな粒子となった。平均粒径はCoFeB薄膜の厚さと共に増加した。硬さとYoung率をナノインデンテーションで測定した。その結果,粒径が小さい程硬さとYoung率が増加し,”Hall-Petch”効果と一致した。ナノインデンテーション微細構造をSEM観察した。アニーリングはナノインデンテーション三角形の面積を増加させた。この結果は,硬さとYoung率に関する結果と一致した。ポストアニールしたCoFeB薄膜のナノ機械的特性は堆積膜に比べて劣っていた。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ホウ化物 ,  *コバルト化合物 ,  *鉄化合物 ,  *薄膜 ,  基板 ,  ガラス ,  マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *ナノインデンテーション ,  *粒径 ,  焼なまし ,  粒度分布 ,  ナノ結晶 ,  膜厚 ,  *硬度 ,  *Young率 ,  微細構造
準シソーラス用語： アニール ,  硬さ ,  粒径分布

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  ナノインデンテーション ,  粒径