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J-GLOBAL ID：201302217508814430   整理番号：13A0004805

表面ミクロ構造の3D異方性測定法

3D anisotropy measurement methodology for surface microstructures

著者 (4件)： FILLIGER R. (Bern Univ. Applied Sci., Biel, CHE) ,  MERMOUD O. (Bern Univ. Applied Sci., Biel, CHE) ,  TRIVUN D. (Bern Univ. Applied Sci., Biel, CHE) ,  WALTHER P. (Bern Univ. Applied Sci., Biel, CHE)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 44  号： 13  ページ： 1547-1557  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面プロファイルの機能上の特性化と制御の必要性が,ミクロ構造のパラメーターの異方性解析を要求する。通常の異方性指標は,表面の2つの垂直方向での高さプロファイルに基づく粗さパラメーターに重点を置く。本研究の異方性解析は,xy平面とz方向の異方性をそれぞれ数値化する投影輪郭長さ(PCL)とミンコフスキー汎関数(MFs)に基づく。標準の多孔性アノード処理の前後の酸化アルミニウム表面,医療や口腔外科に利用される市販のチタンの表面,及び通常の紙の表面の原子間力顕微鏡による表面測定のそれぞれの結果は,本法の異方性の検出を含む特性化が種々の表面プロファイルに適用できることを実証する。

シソーラス用語： *表面構造 ,  微細構造 ,  *異方性 ,  *計測 ,  三次元 ,  表面粗さ ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： *表面異方性

分類 (1件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミクロ構造 ,  3D ,  異方性 ,  測定法