抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ナノ・マイクロ加工の研究開発の現状を概観した。寸法効果に関する研究の進展が著しく,従来の連続体の力学から多結晶体の材料モデルに基づく加工現象の理解に成功を収めている。一方,1990年からのマイクロマシンプロジェクトに端を発したマイクロファクトリ構想では,ダウンサイジングにともなう加工機械の設計原理と省資源,省スペース,省エネルギーの効果,生産システムのあり方への提言を行っている。