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J-GLOBAL ID:201302218230959404   整理番号:13A1253594

還元剤としてのジメチルアミンボランを使用する無電解銅めっき

Electroless copper plating using dimethylamine borane as reductant
著者 (3件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 487-491  発行年: 2012年 
JST資料番号: C5030A  ISSN: 1674-2001  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 英語 (EN)
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無電解銅めっきについて還元剤としてジメチルアミンボラン(DMAB),添加剤として1,5,8,12-テトラアザドデカン,緩衝材としてトリエタノールアミン(TEA)を使用して研究した。DMABのアノード酸化におけるpHの効果,反応体や添加剤の温度と濃度,銅イオンの陰極還元について研究した。実験結果は高いpH値(10-12.5)はDMABの酸化を促進し,銅イオンの還元を抑えるが,高い浴温(55-70°C)はアノード酸化と陰極還元を促進することを示唆した。Cu2+and DMABの濃度の増加は銅めっきの沈着率を改善することができる。二重キレート化剤システムの結果は1,5,8,12-テトラアザドデカンはキレート化で重要な役割を果たすが,TEAの主たる効果は銅表面の吸着でDMAB酸化を抑制し沈着を促進することを示している。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST
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分類 (1件):
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無電解めっき 
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