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J-GLOBAL ID：201302219404037664   整理番号：13A0826291

圧電アクチュエータを用いたナノ位置決め装置の逆開ループ制御

Inverse Open loop Control of a Nano-positioner Based on Piezo-electric Actuators

著者 (7件)： QIANG Shu (Inst. Optics and Electronics, Chinese Acad. Sci., Chengdu, CHN) ,  QIANG Shu (Key Lab. on Adaptive Optics, Chinese Acad. Sci., Chengdu, CHN) ,  QIANG Shu (Graduate School, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  RAO Xuejun (Inst. Optics and Electronics, Chinese Acad. Sci., Chengdu, CHN) ,  RAO Xuejun (Key Lab. on Adaptive Optics, Chinese Acad. Sci., Chengdu, CHN) ,  SHI Ningping (Inst. Optics and Electronics, Chinese Acad. Sci., Chengdu, CHN) ,  SHI Ningping (Key Lab. on Adaptive Optics, Chinese Acad. Sci., Chengdu, CHN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8418  ページ： 84181I.1-84181I.6  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電アクチュエータを用いたナノ位置決め装置においては,付随するヒステリシスが位置決め精度の問題となる。本稿では,実験データを基に記述したヒステリシスの数学モデルを使用し,このモデルの逆を圧電アクチュエータに結び付けてヒステリシスを補償する制御器を提案した。圧電アクチュエータのヒステリシスを,KP演算子を用いてモデル化し,逆演算に対する数値アルゴリズムを提案した。実験結果から,モデルは所定の電圧系列に対して6%の誤差を持つ変位予測をもたらし,逆モデルは5%の誤差を持つ電圧予測をもたらすことが示された

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  位置決め ,  ヒステリシス ,  精度 ,  モデリング ,  演算子 ,  逆問題 ,  数値予測 ,  アルゴリズム ,  フィードフォワード制御
準シソーラス用語： ナノ位置決め ,  *圧電アクチュエータ ,  位置決め精度 ,  開ループ制御 ,  数値アルゴリズム

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電アクチュエータ ,  位置決め装置 ,  開ループ制御