ラテラル場励起厚み剪断モード薄膜音響共振器の有限要素解析

文献

J-GLOBAL ID：201302221166661057 整理番号：13A0026942

Finite element analysis of lateral field excited thickness shear mode film bulk acoustic resonator

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巻： 31 号： 6 ページ： 1892-1900 発行年： 2012年
JST資料番号： H0945A ISSN： 0332-1649 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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数値計算 , 音響変換器,その他の機器

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