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J-GLOBAL ID：201302221284373198   整理番号：13A0502228

高速前面エッチングによる<100>方向にリリースされた膜構造

〈100〉 Direction Released Membrane Structure by Fast Front-etching

著者 (3件)： Ma Tieying (Coll. of Optical and Electronic Technol.,China Jiliang Univ., Hangzhou) ,  Li Jinsong (Coll. of Optical and Electronic Technol.,China Jiliang Univ., Hangzhou) ,  Liang Pei (Coll. of Optical and Electronic Technol.,China Jiliang Univ., Hangzhou)
資料名： Guti Dianzixue Yanjiu yu Jinzhan  (Guti Dianzixue Yanjiu yu Jinzhan)
巻： 32  号： 1  ページ： 58-63  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2084A  ISSN： 1000-3819  CODEN： GDYJE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： <100>結晶方位高速湿式エッチングに基づく前面開口懸架フィルムシステムを設計する。懸架ビームにおいて折り重ねたライン,長い開口,そして,長い開口プラス短い開口部を含む3つの異なる設計オプションを実験に用意する。80°Cの浴温における50%のKOH溶液による120分の異方性エッチング除去した後に,完全な非-粘着力懸架構造物を得る。この理論を基に,私たちはボロメータと熱電堆のための<100>高速リリース構造物を得る。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： エッチング ,  *膜構造 ,  ボロメータ ,  選択 ,  結晶方位 ,  熱電対 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： 異方性エッチング ,  湿式エッチング ,  オプション ,  熱電堆

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 前面 ,  エッチング ,  膜構造