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J-GLOBAL ID：201302222496128645   整理番号：13A0643796

鉄原子及びイオンスペクトル線のBoltzmannプロットから評価したラジオ波グロー放電プラズマへのバイアス電流導入における励起過程

Excitation Processes in Introduction of Bias Current to a Radio-frequency Glow Discharge Plasma Evaluated from Boltzmann Plots of Iron Atomic and Ionic Spectral Lines

著者 (3件)： WAGATSUMA Kazuaki (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ.) ,  OKA Ryuichiro (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ.) ,  URUSHIBATA Satomi (Inst. for Materials Res., Tohoku Univ.)
資料名： Analytical Sciences  (Analytical Sciences)
巻： 28  号： 8  ページ： 759-765 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： G0673B  ISSN： 0910-6340  CODEN： ANSCEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自己バイアス電圧駆動の直流ではローパスフィルタ回路及び負荷低抗体と放電管の組み合わせによってラジオ波グロー放電プラズマ誘起が可能である。この電流はプラズマからの発光スペクトル強度を増強し,鉄原子スペクトル線強度は35~50倍に増大するが,電流導入によってもスパッタリング速度は変化しなかった。バイアス電流導入における鉄原子(Fe I)及びイオンスペクトル線(Fe II)のBoltzmannプロットを解析し,強度増大に関連する励起過程を明らかにした。Fe Iスペクトル線の励起温度変化(3000~3600K)はわずかであるが,Fe IIスペクトル線では7600~4300Kまで劇的に減少し,これは高バイアス電流でのFe Iスペクトル線温度に匹敵した。プラズマはLTE条件に向けて変化し,Fe I及びFe IIスペクトル線は一般的な主要過程によって励起されるものと推定した。バイアス電流は鉄原子/イオンの低励起エネルギーレベル(3~5eV)での電子密度を増強し,これらの鉄種励起における衝突パートナーになるものと考察した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 電波 ,  *グロー放電 ,  プラズマ ,  *原子発光分析 ,  スペクトル線強度 ,  発光スペクトル ,  スパッタリング ,  *鉄 ,  Boltzmann方程式 ,  低域フィルタ ,  電流 ,  バイアス ,  温度 ,  放電管 ,  励起エネルギー ,  電子密度
準シソーラス用語： グロー放電プラズマ ,  バイアス電流 ,  ラジオ波 ,  ローパスフィルタ ,  励起温度

分類 (2件)： 分光分析  (CC03012W) ,  気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (20件)：

• 1. R. Payling, D. G. Jones, and A. Bengtson, “<i>Glow Discharge Optical Emission Spectrometry</i>”, <b>1997</b>, John Wiley & Sons, Chichester.
• 2. K. Marcus and J. A. C. Broekaert, “<i>Glow Discharge Plasmas in Analytical Spectroscopy</i>”, <b>2003</b>, John Wiley & Sons, Chichester.
• 3. R. Payling, M. Aeberhard, and D. Delfosse, J. Anal. At. Spectrom., 2001, 16, 50.
• 4. A. B. Anfone and R. K. Marcus, J. Anal. At. Spectrom., 2001, 16, 506.
• 5. K. Wagatsuma and H. Matsuta, Spectrochim. Acta, Part B, 1999, 54, 527.

タイトルに関連する用語 (10件)： 鉄 ,  原子 ,  イオンスペクトル ,  プロット ,  評価 ,  ラジオ波 ,  グロー放電プラズマ ,  バイアス電流 ,  励起 ,  過程