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J-GLOBAL ID：201302222497166559   整理番号：13A0291632

高密度のマイクロカンチレバー方式の制御

Control of High Density Microcantilever Systems

著者 (3件)： MEHMET Berkem (Univ. Illinois at Urbana Champaign) ,  SEHWAIL Hussam (Univ. Illinois at Urbana Champaign) ,  VOULGARIS Petros G. (Univ. Illinois at Urbana Champaign)
資料名： Proceedings of the American Control Conference  (Proceedings of the American Control Conference)
巻： 2012 Vol.2  ページ： 889-894  発行年： 2012年 
JST資料番号： B0982A  ISSN： 0743-1619  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高密度静電気的に作動させられたマイクロカンチレバー配列の制御への以前の作業を構築して,妥当な性能を実現できる簡単なフィードフォワード補償比例積分微分制御装置構造を検討した。この制御装置は分散される。その結果,隣接している片持ばりサイトの間で少しの情報e交換も必要としない。それは,3000ラジアン/秒の基準周波数で動作する。フォワードコントローラのバンド幅は12000-14000ラジアン/秒である。H∞のバンド幅は30000ラジアン/秒である。状態が測定可能である比較的低いバンド幅アプリケーションにそれを使用できる。

シソーラス用語： *片持梁 ,  アクチュエータ ,  配列 ,  フィードフォワード制御 ,  PID動作 ,  周波数 ,  帯域幅
準シソーラス用語： カンチレバー ,  *静電アクチュエータ ,  比例積分微分動作 ,  バンド幅

分類 (2件)： 静電機器  (NB10020R) ,  電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (1件)： マイクロカンチレバー