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J-GLOBAL ID：201302223344103015   整理番号：13A0508517

マイクロシステムの重要技術の開発状態

Situation in the development of microsystem pivotal technology

著者 (1件)： Shen Shutao (Tianjin Jinhang Inst. of Technical Physics, Tianjin)
資料名： Hongwai yu Jiguang Gongcheng  (Hongwai yu Jiguang Gongcheng)
巻： 41  号： 4  ページ： 936-941  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2521A  ISSN： 1007-2276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： マイクロシステムは超小型電気機械システム,集積回路及び小型,統合,知的,安価,効率的で生産的他の科学の製造技術に基づく,総合的過程である。海外及び国内のマイクロシステムの構成と原理を記述し,マイクロシステムの開発と産業分布も紹介した。いくつかの微細構造機器の重要な技術を発表し,原理,特徴及び湿潤エッチング技法,深層乾燥エッチング,表面処理,結合,LIGA技術,微小焼付け技術,高縦横比構造(HARPSS)製造技術を分析した。HARPSSは装置を三次元化できる。特にX線の優れた透過率を利用したLIGAは200:1を超える高縦横比を作り出せる。それゆえ,構造の大きさを小さくできる。典型的超小型素子に結合した全ての技術の利点を小型コンデンサ送話器及び歯車のように指摘した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *MEMS ,  電気機械 ,  エッチング ,  コンデンサ ,  固体素子 ,  生産技術 ,  表面処理 ,  微細構造 ,  集積回路 ,  マイクロマシニング
準シソーラス用語： *マイクロシステム ,  小型電気機械 ,  超小型素子 ,  製造技術 ,  LIGA

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロシステム ,  開発