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J-GLOBAL ID：201302224111575215   整理番号：13A1476523

3C-SiCの研究進展:CVDによる調製とMEMSにおける応用

Research Progress of 3C-SiC: Preparation by CVD and Application in MEMS

著者 (5件)： Yan Chunlei (State Key Lab. of Advanced Ceramic Fibers & Composites, Coll. of Aerospace & Materials Engineering, National Univ. ...) ,  Liu Rongjun (State Key Lab. of Advanced Ceramic Fibers & Composites, Coll. of Aerospace & Materials Engineering, National Univ. ...) ,  Cao Yingbin (State Key Lab. of Advanced Ceramic Fibers & Composites, Coll. of Aerospace & Materials Engineering, National Univ. ...) ,  Zhang Changrui (State Key Lab. of Advanced Ceramic Fibers & Composites, Coll. of Aerospace & Materials Engineering, National Univ. ...) ,  Zhang Deke (State Key Lab. of Advanced Ceramic Fibers & Composites, Coll. of Aerospace & Materials Engineering, National Univ. ...)
資料名： Cailiao Daobao  (Cailiao Daobao)
巻： 26  号： 11A  ページ： 13-16  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2126A  ISSN： 1005-023X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 苛酷な環境で利用される観察と制御システム(例えば高温,強い衝撃/振動,腐食流動,腐食媒体,および高湿分)はMEMS技術に関する多くの難問を提示した。炭化ケイ素(SiC)は焼直し環境で用いられるMEMS用の非常に魅力的特性を有する材料である。化学的不活発性,高い熱伝導性,好ましい電気特性,機械的強度,および高温度での操作性のようなその特別な特性はそれをSiベースのMEMSに対する競争的代替策にした。CVD調製方法,機械的と電気的特性の調査を含む3C-SiC膜の進展に関するレビューについて示した。最後に,3C-SiCのMEMS素子に関する研究の現状について紹介される,そして,いくつかの用例は示される。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *炭化ケイ素 ,  化学蒸着 ,  MEMS ,  電気的性質 ,  機械的強度 ,  電気特性 ,  熱特性 ,  高温 ,  膜
準シソーラス用語： *3C-SiC ,  CVD【化学蒸着】 ,  電気的特性 ,  熱伝導性 ,  高温度

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 3C-SiC ,  研究 ,  進展 ,  CVD ,  調製 ,  MEMS ,  応用