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J-GLOBAL ID：201302224474810380   整理番号：13A1778492

合焦イオンビーム照射された単結晶ダイヤモンド工具の加工性能改善

Improving machining performance of single-crystal diamond tools irradiated by a focused ion beam

著者 (5件)： KAWASEGI Noritaka (Central Res. Inst., Toyama Industrial Technol. Center, 150 Futagami-machi, Takaoka-shi, Toyama 933-0981, JPN) ,  NIWATA Tomoyuki (Graduate School of Sci. and Engineering for Education, Univ. of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama-shi, Toyama 930-9555, JPN) ,  MORITA Noboru (Graduate School of Engineering, Chiba Univ., 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba-shi, Chiba 263-8522, JPN) ,  NISHIMURA Kazuhito (Kochi FEL Co., Ltd., 3-1 Shinonome-cho, Kochi-shi, Kochi 780-0805, JPN) ,  SASAOKA Hideki (Kochi FEL Co., Ltd., 3-1 Shinonome-cho, Kochi-shi, Kochi 780-0805, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 38  号： 1  ページ： 174-182  発行年： 2014年01月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超精密加工で加工領域の形状や精度を決定する重要要素に工具形状がある。μm~サブμmスケールの工具形状の製作手段として合焦イオンビーム(FIB)は有効だがイオン照射はドーピングを招き工具性能低下を招く。工具性能劣化なく単結晶ダイヤモンド工具をFIB加工すべくイオン照射起因のGaイオン除去に500°Cの熱処理とアルミニウム沈着を組合せた。加工実験で評価した結果Gaイオンの照射は被削物の工具上面への付着原因と分かり,付着やその結果としての工具摩耗は熱処理により減少した。この方法は工具の転写性能や耐摩耗性にも有効で,非照射の工具の場合との比較では長い切削距離に亘り同等以上の加工面品質を維持できた。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *超精密加工 ,  *ダイヤモンド工具 ,  集束イオンビーム ,  イオンビーム加工 ,  抑制 ,  *工具刃形 ,  工具寿命 ,  ガリウム ,  熱処理 ,  *工具管理
準シソーラス用語： 単結晶ダイヤモンド工具 ,  FIB ,  イオン抑制

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 合焦 ,  イオンビーム照射 ,  単結晶ダイヤモンド工具 ,  性能改善