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J-GLOBAL ID：201302224881919427   整理番号：13A0248170

マルチアークイオンプレーティングで堆積させた超硬CrAlSiN超格子コーティング:II 熱安定性と酸化抵抗

A superhard CrAlSiN superlattice coating deposited by a multi-arc ion plating: II. Thermal stability and oxidation resistance

著者 (4件)： ZHANG Shihong ,  WANG Lei ,  WANG Qimin ,  LI Mingxi
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 214  ページ： 153-159  発行年： 2013年01月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パートIから堆積したCrAlSiNコーティングはfcc-(Cr,Al)Nとh-(Al,Si)Nナノ層を交互に含む超格子構造であった。ここでは,高速切削工具及び/または高温での耐摩耗部品へCrAlSiNコーティングを応用するため,CrAlSiN超格子コーティングの熱安定性を700,900及び1100°Cで2hの真空焼きなまし処理して調べた。真空焼きなまし前後のCrAlSiNコーティングの相構造と機械的性質を調べた。コーティング構造と機械的性質は900°Cまでほぼ変化しなかった。fcc-CrN相はh-Cr₂N,立方晶Cr及びAl₈₀Cr₂₀相に分解するため,1100°Cで焼きなまし後コーティングの硬さは48±2GPaから39GPaへ減少し,付着強度は50GPaから60GPaへ増加した。また,コーティングは表面に結晶性Al₂O₃相が生成してより高い酸化抵抗を示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *アーク放電 ,  *イオンめっき ,  *超硬材料 ,  *皮膜 ,  *クロム化合物 ,  *アルミニウム化合物 ,  *ケイ素化合物 ,  *窒化物 ,  超格子 ,  熱安定性 ,  耐酸化性 ,  積層構造 ,  切削工具 ,  耐熱材料 ,  部品 ,  耐摩耗性 ,  ウエハ【IC】 ,  超硬合金 ,  炭化タングステン ,  コバルト含有合金 ,  結晶構造 ,  六方晶系 ,  相組成 ,  機械的性質 ,  微小硬さ ,  密着性 ,  付着強さ ,  弾性 ,  引かき試験 ,  *セラミック被覆 ,  超硬合金工具 ,  FCC構造 ,  シリコンウエハ ,  *硬質皮膜 ,  弾性余効 ,  耐性 ,  性質
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  *マルチアークイオンプレーティング ,  *硬質膜 ,  弾性回復

分類 (1件)： ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D)

タイトルに関連する用語 (7件)： マルチ ,  アークイオンプレーティング ,  堆積 ,  超格子 ,  コーティング ,  熱安定性 ,  酸化抵抗