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J-GLOBAL ID：201302225322673236   整理番号：13A0653453

多相平滑化粒子流体力学(SPH)モデル化によるパルスレーザ乾式及び湿式マイクロマッチング過程の挙動の理解

Understanding the behaviour of pulsed laser dry and wet micromachining processes by multi-phase smoothed particle hydrodynamics (SPH) modelling

著者 (4件)： MUHAMMAD N (Univ. Manchester, Manchester, GBR) ,  MUHAMMAD N (Universiti Malaysia Perlis, Perlis, MYS) ,  ROGERS B D (Univ. Manchester, Manchester, GBR) ,  LI L (Univ. Manchester, Manchester, GBR)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 46  号： 9  ページ： 095101,1-13  発行年： 2013年03月06日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ微細加工に関して,三次元平滑化粒子法(SPH)を用いたシミュレーションモデルを提示し,実験と比較した。特に,医用動脈ステント加工を目的としてステンレス316Lの場合を詳述した。開発したモデルでは,表面薄層でのレーザエネルギーの熱への変化,熱伝導,固相,液相,気相間の相転移を考慮した。レーザ湿式微細加工及び穴あけ加工における水の役割も考慮した。シミュレーション結果は実験結果とよく一致した。

シソーラス用語： *計算流体力学 ,  計算機シミュレーション ,  数値解析 ,  *エッチング ,  ドライエッチング ,  ステント ,  微細加工 ,  熱伝導 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *SPH【粒子】 ,  SUS316L ,  *レーザビームエッチング ,  乾式エッチング

分類 (2件)： 流体動力学一般  (BC02010G) ,  医用素材  (GA05040H)

タイトルに関連する用語 (9件)： 多相 ,  平滑化粒子流体力学 ,  SPH ,  モデル化 ,  パルスレーザ ,  マッチング ,  過程 ,  挙動 ,  理解