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J-GLOBAL ID：201302225357483189   整理番号：13A0076941

ホモダイン干渉計の動的位相変化の直接読取用の高ダイナミックレンジ法

A high dynamic range method for the direct readout of a dynamic phase change in homodyne interferometers

著者 (5件)： MARCAL L A P (Universidade Estadual Paulista, SP, BRA) ,  KITANO C (Universidade Estadual Paulista, SP, BRA) ,  HIGUTI R T (Universidade Estadual Paulista, SP, BRA) ,  NADER G (Centro de Metrologia de Fluidos, SP, BRA) ,  SILVA E C N (Universidade de Sao Paulo, SP, BRA)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 23  号： 12  ページ： 125201,1-12  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電アクチュエータのサブミクロンの変位の測定には幾つかの型のセンサが使用されている。特に,光干渉測定は有用な手段である。ここではMichelson干渉計を用いた。J_m&J_m+2と呼ぶ新しい動的位相変調法を提唱した。この方法は光検出した信号の強度スペクトルのみを用い,位相スペクトルを知る必要はない。本方法は受動的,直接的,自己一貫性があり,位相の不明確さが無く,フェーディングに不感で,ダイナミックレンジは0.45~100rad(波長632.8nmに対して22.6nm~5μm)である。

シソーラス用語： 干渉計 ,  *干渉測定 ,  *アクチュエータ ,  Michelson干渉計 ,  *変位測定 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  セラミック ,  圧電素子 ,  ダイナミックレンジ ,  光検出
準シソーラス用語： ホモダイン干渉計 ,  *圧電アクチュエータ

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 干渉計 ,  位相変化 ,  読取 ,  高ダイナミックレンジ