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J-GLOBAL ID：201302225472761877   整理番号：13A0084332

金属ガラスの作製およびMEMSへの応用

Preparation of Pd-based metallic glasses

著者 (5件)： CHEN N. (Tohoku Univ., Sendai) ,  YANG H. A. (Tohoku Univ., Sendai) ,  LOUZGUINE-LUZGIN D. V. (Tohoku Univ., Sendai) ,  ESASHI M. (Tohoku Univ., Sendai) ,  INOUE A. (Tohoku Univ., Sendai)
資料名： 東北大学金属材料研究所金属ガラス総合研究センター共同利用研究報告書
巻： 2011  ページ： 108-110  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： L3700A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロメカニカルデバイス(MEMS)用基板として,機械的強度と微細成形の可能性のある金属ガラスの利用が期待される。本研究では,MEMS応用を目的として,過冷却液体状態の成形性とシリコンモールドとを利用した微細加工の可能性を調べた。高純度原料からマスターインゴットを作製し,単ロールメルトスパン法により約160μm厚さのPd₄₀Ni₄₀Si₄P₁₆金属ガラスリボンを作製した。一方で,Si基板表面にフォトリソグラフィーによりパターンを形成したSiモールドを作製した。両者を接合し,643Kで80MPaの圧力を印加することで金属ガラスに熱塑性変形をおこさせた結果,Si基板の様々なパターンを転写できることを明らかにした。

シソーラス用語： *MEMS ,  *金属ガラス ,  *パラジウム合金 ,  ニッケル含有合金 ,  ケイ素含有合金 ,  リン含有合金 ,  *非晶質リボン ,  過冷却液体 ,  ウエハ【IC】 ,  金型 ,  *圧印加工 ,  *微細加工 ,  パターン転写
準シソーラス用語： 単ロール法 ,  Si基板

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 金属ガラス ,  作製 ,  MEMS ,  応用