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J-GLOBAL ID：201302225578709459   整理番号：13A1791565

輪郭モードAlN共振器の性能指数(k_t²・Q)とスプリアスモードへおよぼす金属電極の影響

Impact of Metal Electrodes on the Figure of Merit (k_t² Q) and Spurious Modes of Contour Mode AlN Resonators

著者 (3件)： SEGOVIA-FERNANDEZ Jeronimo (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  KUO Nai-Kuei (Carnegie Mellon Univ., PA, USA) ,  PIAZZA Gianluca (Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2012 Vol.1  ページ： 299-302  発行年： 2012年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,1GHzで動作する同一AlN輪郭モード共振器(CMR)の上部電極としてPt,NiそしてAlを用いて得た実験結果を解析しそして比較した。実験結果は,AlN CMR電極と非電極領域間に誘起された音響不整合は,デバイスk_t²およびスプリアス応答の振幅を設定するのに重要な役割を果たす,ことを実証した。不整合が高いほど,その時のk_t²およびスプリアスモード振幅が高くなった。しかしながら,電極形状の再設計により(すなわち,アポダイゼーション技術を使って),デバイスk_t²に影響すること無しにスプリアス振動を除去することが可能であった。そのうえ,実験データは,より硬直した電極(AlNの値に近いYoung率を持つ)を用いた時,より高い固有Qを達成する,ことを確認することを示した。

シソーラス用語： 輪郭 ,  *窒化アルミニウム ,  *共振器 ,  性能指数 ,  *電極 ,  音響 ,  不整合 ,  振動振幅 ,  再設計 ,  アポディゼイション ,  振動 ,  Young率
準シソーラス用語： スプリアス振動 ,  *金属電極 ,  輪郭モード

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 輪郭 ,  AlN ,  共振器 ,  性能指数 ,  金属電極