文献

J-GLOBAL ID：201302225755754028   整理番号：13A0564225

マルチターゲットマグネトロン共スパッタリングにより作製したTi-B-C-Nナノコンポジットコーティングの硬度と摩耗抵抗

Hardness and Wear Resistance of Ti-B-C-N Nanocomposite Coatings Synthesized by Multi-Target Magnetron Co-Sputtering

著者 (8件)： GAO C. K. (Tianjin Normal Univ., Tianjin, CHN) ,  LIU M. Y. (Tianjin Normal Univ., Tianjin, CHN) ,  LI D. J. (Tianjin Normal Univ., Tianjin, CHN) ,  DONG L. (Tianjin Normal Univ., Tianjin, CHN) ,  GU H. Q. (Tianjin Medical Univ., Tianjin, CHN) ,  GU H. Q. (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN) ,  WAN R. X. (Tianjin Medical Univ., Tianjin, CHN) ,  WAN R. X. (Shanghai Jiao Tong Univ., Shanghai, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 537  ページ： 63-66  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 物理的,化学的および機械的に優れた保護コーティング膜の作製に,遷移金属窒化物への第三元素の添加が試みられている。本研究では,Ti-B-C-NナノコンポジットコーティングをSi(100)およびステンレス基板上にマルチターゲットマグネトロン共スパッタリングにより作製し,硬度と摩耗特性を評価した。ターゲットとしてTiおよびB₄Cを用いた。製膜圧力0.5Pa,TiおよびB₄Cの出力がそれぞれ60および150W,N₂およびArの流量がそれぞれ4および36sccmで,さらに基板バイアスが-100Vの条件で作製した時,それぞれ42.8GPaおよび424GPaの最大硬度と弾性率が得られた。

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *ホウ素化合物 ,  *炭化物 ,  *窒化物 ,  蒸着膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  セラミック被覆 ,  *ナノ複合材料 ,  ウエハ【IC】 ,  ステンレス鋼 ,  微小硬さ ,  摩耗 ,  基板 ,  電圧 ,  弾性係数 ,  *耐摩耗性
準シソーラス用語： ケイ素ウエハ ,  バイアス電圧 ,  *炭窒化チタンホウ素

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  塩  (CD01050V) ,  ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 共スパッタリング ,  作製 ,  Ti ,  ナノコンポジット ,  コーティング ,  硬度 ,  摩耗抵抗