室温でのSnO<sub>2</sub>コア/ZnOシェルナノワイヤの紫外線増強NO<sub>2</sub>ガスセンシング特性

PARK Sunghoon; AN Soyeon; MUN Youngho; LEE Chongmu

文献

J-GLOBAL ID：201302225810041974 整理番号：13A1796757

室温でのSnO₂コア/ZnOシェルナノワイヤの紫外線増強NO₂ガスセンシング特性

UV-Enhanced NO₂ Gas Sensing Properties of SnO₂-Core/ZnO-Shell Nanowires at Room Temperature

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巻： 5 号： 10 ページ： 4285-4292 発行年： 2013年05月22日
JST資料番号： W2329A ISSN： 1944-8244 CODEN： AAMICK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

酸化物半導体ナノ構造センサは優れた特性を有するが,高性能達成には多くの課題をもたらす高温操作条件が必要である。操作温度低下手段としては紫外線照射が有力であるが,センサ感度に及ぼす紫外線照射強度の影響は不明である。このため,SnO₂コア/ZnOシェルナノワイヤを合成し,紫外線照射下での室温NO₂ガスセンシング特性を調べた。Sn粉末の真空蒸着によってAu薄膜で被覆したSi基板上でSnO₂ナノワイヤを成長させた後,原子間蒸着によってナノワイヤをZnOで被覆し,SnO₂コア/ZnOシェルナノワイヤを得た。走査電子顕微鏡やX線回折等によりキャラクタリゼーションを行った。コアシェルナノワイヤは正方晶系単結晶SnO₂コアとウルツ鉱型構造単結晶ZnOシェルを有した。コアシェルナノワイヤのNO₂濃度に対する応答は純粋なSnO₂およびZnOナノワイヤよりそれぞれ2-3倍および2-6倍増強した。紫外線照射下でのコア/シェルナノワイヤのセンシング機構を考察した。

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分析機器 , 塩基,金属酸化物

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室温でのSnO2コア/ZnOシェルナノワイヤの紫外線増強NO2ガスセンシング特性

室温でのSnO₂コア/ZnOシェルナノワイヤの紫外線増強NO₂ガスセンシング特性