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J-GLOBAL ID：201302226143513206   整理番号：13A0581015

NiO-In_2O_3複合薄膜/スズ拡散ガラス光導波路センサーとそのガス感度特性

NiO-In_2O_3 composite thin film/tin-diffused glass optical waveguide sensor and its gas sensitivity properties

著者 (2件)： Gulgina Mamtimin (Coll. of Chemistry and Chemical Engineering,Xinjiang Univ., Urumqi) ,  Abliz Yimit (Coll. of Chemistry and Chemical Engineering,Xinjiang Univ., Urumqi)
資料名： Kexue Tongbao  (Kexue Tongbao)
巻： 57  号： 1  ページ： 47-51  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2016A  ISSN： 0023-074X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本論文は,NiO-In_2O_3複合薄膜/スズ拡散ガラス光導波路センサーのガス感度を研究した。感受性因子をゾルゲル法によって合成した。NiO-In_2O_3薄膜ですずドープガラスの光導波路を覆って,センサーを作った。光導波路センサーをガスセンサシステムの上へ固定し,ガス状揮発性有機化合物(VOC)を検出した。センサーは,室温でo-キシレンガスへの高感度を示した。それは顕著に1×10(-7)(体積比)のo-キシレン蒸気に反応し,応答および回復時間は短かった(それぞれ3秒および26秒以下)。出力光度の相対標準偏差は,18%±1%であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 酸化インジウム ,  薄膜 ,  スズ ,  拡散 ,  ガラス ,  *光導波路 ,  *センサ ,  感度 ,  ゾル-ゲル法 ,  揮発性有機化合物 ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： NiO ,  ガス感度

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

物質索引 (1件)： o-キシレン

タイトルに関連する用語 (7件)： 薄膜 ,  スズ ,  拡散 ,  ガラス ,  光導波路 ,  センサー ,  感度特性