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J-GLOBAL ID：201302228414122200   整理番号：13A1387108

選択的イオン誘起結晶粒成長:熱スパイクモデリングとその実験検証

Selective ion-induced grain growth: Thermal spike modeling and its experimental validation

著者 (4件)： SEITA Matteo (Lab. for Nanometallurgy, Dep. of Materials, ETH Zurich, Wolfgang-Pauli-Str. 10, 8093 Zurich, CHE) ,  SCHAEUBLIN Robin (Centre de Recherches en Physique des Plasmas, Assoc. Euratom-Confederation Suisse, Ecole Polytechnique Federale de ...) ,  DOEBELI Max (Lab. of Ion Beam Physics, Dep. of Physics, ETH Zurich, Schafmattstrasse 20, 8093 Zurich, CHE) ,  SPOLENAK Ralph (Lab. for Nanometallurgy, Dep. of Materials, ETH Zurich, Wolfgang-Pauli-Str. 10, 8093 Zurich, CHE)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 61  号： 16  ページ： 6171-6177  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオン爆撃誘起選択的結晶粒成長は,繊維集合組織多結晶から単結晶膜へ転換させることができる蒸着薄膜の方位を十分に制御することを可能にするプロセスである。新しい熱スパイクモデルによって,この現象の背後の主なメカニズムを説明する。このモデルは,照射での膜のミクロ組織変化を支配する種々の駆動力を考慮しかつ比較して,熱スパイクの形状と体積の重要性を強調する。モデルと実験データとの強い一致は,体積自由エネルギーの最小化によって選択的結晶粒成長を駆動することを確認する。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *結晶成長 ,  *熱スパイク ,  モデリング ,  繊維組織 ,  単結晶 ,  蒸着膜 ,  微細構造 ,  駆動力 ,  自由エネルギー ,  最適化 ,  イオン照射 ,  イオン衝突 ,  銀 ,  金 ,  金属薄膜
準シソーラス用語： エネルギー最小化

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の結晶成長  (BK13030M) ,  金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N)

タイトルに関連する用語 (6件)： イオン ,  誘起 ,  結晶粒成長 ,  熱スパイク ,  モデリング ,  実験検証