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J-GLOBAL ID：201302228574781910   整理番号：13A0457149

Study of plasma enhanced chemical vapor deposition of ZnO films by non-thermal plasma jet at atmospheric pressure

著者 (3件)： ITO Y ,  SAKAI O ,  TACHIBANA K
資料名： THIN SOLID FILMS
巻： 518  号： 13  ページ： 3513-3516  発行年： 2010年 
JST資料番号： O6314A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： ZnO ,  JET