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J-GLOBAL ID：201302229349941718   整理番号：11A0035150

液体配送化学蒸着によるBiFeO3薄膜を生成するための金属有機前駆体の評価

Evaluation of metalorganic precursors for preparing BiFeO3 thin films by liquid delivery chemical vapor deposition

著者 (5件)： TASAKI Y ,  KANOKO T ,  KABEYA M ,  CHIFU N ,  YOSHIZAWA S
資料名： INTEGRATED FERROELECTRICS
巻： 81  ページ： 281-288  発行年： 2006年 
JST資料番号： O2885A  ISSN： 1058-4587  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 配送 ,  化学蒸着 ,  BiFeO3 ,  薄膜 ,  前駆体 ,  評価