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J-GLOBAL ID：201302230362906210   整理番号：13A0228967

トライボロジー応用のためのa-C:H:Si厚膜の蒸着

Deposition of Thick a-C:H:Si Coatings for Tribological Applications

著者 (3件)： FORSICH C. (Univ. Applied Sci., Wels, AUT) ,  HEIM D. (Univ. Applied Sci., Wels, AUT) ,  MUELLER T. (Rubig GmbH & Co KG Anlagentechnik, Wels, AUT)
資料名： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 55th  ページ： 577-581  発行年： 2012年 
JST資料番号： E0063B  ISSN： 0737-5921  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)膜は,摩擦係数が小さい,硬い,及び化学的に不活性などの特徴を持つが,工業的に使用するためには付着性に問題がある。これは膜が成長するときに圧縮残留応力が発生するためである。DLCと共にSi層を加えると応力が減少し,付着性が改善される。しかし,工業的には10μm以上の膜を付着させることは難しい。工業的なDC-PACVD法により膜厚50μm以上のa-C:H:Si膜を作製した。Ar,H₂,C₂H₂ガスにヘキサメチルジシロキサンを添加してSi源とした。この皮膜は低合金鋼上で73Nのスクラッチ試験に耐え,摩擦係数は0.02まで低下した。

シソーラス用語： トライボロジー ,  プラズマCVD ,  膜厚 ,  *被覆層 ,  密着性 ,  非晶質 ,  *炭素 ,  *ケイ素 ,  厚膜 ,  低合金鋼 ,  引かき試験 ,  *摩擦係数 ,  DLC膜 ,  水素化 ,  アルキン

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  潤滑一般  (QB02010S)

物質索引 (2件)： アセチレン ,  ヘキサメチルジシロキサン

タイトルに関連する用語 (5件)： トライボロジー ,  応用 ,  Si ,  厚膜 ,  蒸着