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J-GLOBAL ID：201302231009032998   整理番号：13A1893023

溶液法プロセスを利用できる有機ゲート誘電体を用いたマルチチャネルZnOナノワイヤ電界効果トランジスタ

Solution processable multi-channel ZnO nanowire field-effect transistors with organic gate dielectric

著者 (6件)： OPOKU C (Univ. Surrey, Surrey, GBR) ,  HOETTGES K F (Univ. Surrey, Surrey, GBR) ,  HUGHES M P (Univ. Surrey, Surrey, GBR) ,  STOLOJAN V (Univ. Surrey, Surrey, GBR) ,  SILVA S R P (Univ. Surrey, Surrey, GBR) ,  SHKUNOV M (Univ. Surrey, Surrey, GBR)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 24  号： 40  ページ： 405203,1-7  発行年： 2013年10月11日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大面積低コストなFET製造が本報告の目標である。ナノワイヤ(NW)の成長と配向に誘電電気泳動法(DEP)を利用して,多重ZnOナノワイヤを正確な長さに選定し,誘導配向させて位置決めし,所定の基板面上に配置させることが挑戦課題となった。有機ゲート誘電層と全周囲シース構造ドレイン接触を設けて,高性能なトップゲート構成のZnO-NW-FETをガラス基板上に形成した。このデバイスはハイブリッド型であり,無機マルチプル単結晶ZnO-NWと有機ゲート誘電体が単一システム内を共有する構造を採用している。代表的なI-V特性,オン/オフ比動作特性,高い電子移動度などの特徴を明らかにした。低温プロセスで製造できることが大きな特長である。

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,  *ナノワイヤ ,  *FET【トランジスタ】 ,  半導体プロセス ,  素子構造 ,  有機材料 ,  ゲート【半導体】 ,  有機-無機ハイブリッド ,  誘電体薄膜 ,  微結晶 ,  *スイッチングトランジスタ
準シソーラス用語： 有機薄膜

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 溶液 ,  プロセス ,  ゲート誘電体 ,  マルチチャネル ,  ZnOナノワイヤ ,  電界効果トランジスタ