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J-GLOBAL ID：201302231833734969   整理番号：13A1458398

やわらかい水を含んだ試料のせん断特性のMEMS応用装置による評価

MEMS-based shear characterization of soft hydrated samples

著者 (7件)： HIGGS Gadryn C (Stanford Univ., CA, USA) ,  SIMMONS Chelsey S (Stanford Univ., CA, USA) ,  GAO Yingning (Stanford Univ., CA, USA) ,  FRIED Andrew T (Stanford Univ., CA, USA) ,  PARK Sung-Jin (Stanford Univ., CA, USA) ,  CHUNG Cindy (Stanford Univ., CA, USA) ,  PRUITT Beth L (Stanford Univ., CA, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 8  ページ： 085001,1-9  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来の原子間力顕微鏡(AFM)やナノインデンタで測定が困難であったやわらかい物質のせん断特性をマイクロスケールで評価する静電方式のMEMSアクチュエータを用いる測定装置(ASC: actuator for shear characterization)の設計,試作,調整,試験に関して報告した。さらに,計算モデルと解析モデルを用いてASCの能力を従来手法のそれと比較した。このASCでは,被測定試料(デバイス)の表面を化学的にはっ水化処理することにより静電式アクチュエータの要となるくし歯電極を乾燥状態に保つことを基本としている。まずASCによるせん断特性の測定原理を説明し,SOI(silicon on insulator)基板を用いる測定装置の試作プロセスを述べた。表面のはっ水化にはヘキサメチルジシロキサン(HMDS)を用いた。この装置を用いてシリコーン樹脂および水和ポリエチレングリコール(PEG)における作用力-電圧特性を測定し,これらからせん断特性を評価した結果,別途計算/解析モデルによって得られる値とよく一致することを明らかにした。提案したASC測定装置は,各種のやわらかい合成材料,ヒドロゲルおよび生物学的試料などのせん断特性の評価に有効であることを示した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *アクチュエータ ,  *剪断強さ ,  プリント基板 ,  解析モデル ,  撥水加工 ,  計測器
準シソーラス用語： SOI基板

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水 ,  試料 ,  せん断 ,  MEMS ,  応用 ,  評価