反射防止応用に向けた選択的膨潤誘起多孔性ブロック共重合体と原子層堆積によるそれらのロバスト性TiO<sub>2</sub>レプリカ

YANG Jie; TONG Ling; YANG Yang; CHEN Xiaoqiang; HUANG Jun; CHEN Rizhi; WANG Yong

文献

J-GLOBAL ID：201302235177244335 整理番号：13A1444967

反射防止応用に向けた選択的膨潤誘起多孔性ブロック共重合体と原子層堆積によるそれらのロバスト性TiO₂レプリカ

Selective-swelling-induced porous block copolymers and their robust TiO₂ replicas via atomic layer deposition for antireflective applications

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巻： 1 号： 33 ページ： 5133-5141 発行年： 2013年09月07日
JST資料番号： W2383A ISSN： 2050-7526 CODEN： JMCCCX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

本報では膨潤誘起孔生成機構から共重合体膜にナノメータ規模の孔を生成するため,熱エタノール中,ガラス基板の浸漬による両親媒性ブロック共重合体被覆と続く空気乾燥過程で,ナノ多孔性反射防止膜を調製した。共重合体溶液濃度と膨重温度/時間を変更し,多孔性共重合体膜の孔構造/サイズ,反射防止特性を調節し,最適条件下で共重合体被覆ガラス基板の99%を超える透過率を得た。また,ロバスとで容易に清浄可能な反射防止層を得るため,原子層堆積法で多孔性共重合体膜へTiO₂を堆積し,次に高分子成分を焼却するため焼成し,薄いチューブ肉厚の相互結合チューブから成る高多孔性で良好な反射防止機能を持つTiO₂膜レプリカを得た。高温焼成後もレプリカは構造安定性と機械的ロバスト性を維持しガラス基板へ緊密に接着した。焼成でTiO₂はアナターゼ型へ変換され光触媒作用も示した。水や有機溶媒による洗浄,有機汚染物を分解するUV曝露により,汚染TiO₂層は元の高透過率を回復した。

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有機化合物の薄膜 , 酸化物薄膜 , 光物性一般 , 高分子固体の物理的性質 , 塩基,金属酸化物

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反射防止応用に向けた選択的膨潤誘起多孔性ブロック共重合体と原子層堆積によるそれらのロバスト性TiO2レプリカ

反射防止応用に向けた選択的膨潤誘起多孔性ブロック共重合体と原子層堆積によるそれらのロバスト性TiO₂レプリカ