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J-GLOBAL ID:201302235543511430   整理番号:13A0896383

チタンのパルスレーザアブレーションに及ぼす乾燥および湿潤環境の効果

Effect of dry and wet ambient environment on the pulsed laser ablation of titanium
著者 (5件):
資料名:
巻: 270  ページ: 49-57  発行年: 2013年04月01日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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乾燥および湿潤環境雰囲気下でレーザ照射チタンターゲットの表面および構造特性を調べた。この目的で,波長248nm,パルス持続時間20ns,およびパルス繰り返し数20HzのKrFエキシマレーザを用いた。ターゲットは,空気環境中,脱イオン水中,およびプロパノール中において,フルエンス3.6J/cm2で,500~2000の間の種々の数のレーザパルスに曝露した。表面形態,化学組成,および結晶学的分析をそれぞれ走査電子顕微鏡,エネルギー分散X線分光,およびX線回折で評価した。乾燥および湿潤条件では,照射領域の中心および周辺の双方において,表面形態の顕著な差異が観測された。乾燥アブレーションの場合,大きな径の拡散粒が見られた。他方,湿潤アブレーションの場合,小径で粒界が明確であって,明らかに密度が高かった。この差異は,液体の閉じ込め効果に帰すことができた。照射周辺領域では,乾燥条件の場合再堆積が見られ,湿潤条件の場合は小径粒状構造が形成された。エネルギー分散X線分光では,二つの環境ではともに化学組成の変化が見られた。ターゲットを空気環境中で処理すると,窒素含有量はもとより酸素含有量の増加が観測されたが,脱イオン水およびプロパノールの場合,酸素含有量の増加のみ観測された。X線回折では,空気の場合には酸化物および窒化物の形成が観測されたが,脱イオン水およびプロパノールの場合には水素化物とともに酸化物が形成されたのみであった。種々のレーザパルス数について,両方の環境下において,ピーク強度,結晶度,および格子面間隔の変化が観測された。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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レーザ照射・損傷  ,  金属の表面構造 
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