抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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強磁性体の磁気抵抗効果を用いた薄膜電力計の開発について報告した。薄膜電力センサは,予めバイアス磁界をかけるための機構が必要であるが,磁性膜にBarber Pole構造を組込むと,バイアス磁界なしで薄膜電力センサのセンシング部分として動作させることが期待できる。本論では,Barber Poleの形状と感度特性に関し,実際に素子を作成して性能を比較した。センサの動作点を磁界=0付近にずらすには,銅を配置する角度を変えることが有効であることが判明した。また,動作点のずれの大小は,パーマロイの中央部分と端部の面積比に依存することが分かった。Barber Poleセンサの感度は,材料だけでなく形状にも依存することを示した。