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J-GLOBAL ID：201302237706954451   整理番号：13A0613458

新竹モニタによるレーザー干渉を用いたnm電子ビームサイズ測定:最新結果と性能評価

著者 (1件)： ヤン ジャクリン (東大 理)
資料名： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
巻： 68  号： 1 第1分冊  ページ： 39  発行年： 2013年03月05日 
JST資料番号： S0671B  ISSN： 1342-8349  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子ビーム ,  *サイズ効果 ,  性能評価 ,  *ビームモニタリング ,  ビーム集束 ,  *監視装置 ,  光干渉法
準シソーラス用語： *ビームサイズ ,  *ビームモニタ ,  レーザー干渉法

分類 (2件)： 素粒子・核物理実験計測用エレクトロニクス  (BE01020Q) ,  電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F)

タイトルに関連する用語 (6件)： 竹 ,  モニタ ,  レーザー干渉 ,  電子ビーム ,  サイズ測定 ,  性能評価