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J-GLOBAL ID：201302238410819083   整理番号：13A0022098

β-Ga₂O₃単結晶のシンクロトロン光を用いたX線トポグラフィー評価

著者 (8件)： 松永晃和 (佐賀大 大学院工学研究科) ,  村上竜一 (佐賀大 大学院工学研究科) ,  西村健吾 (佐賀大 大学院工学研究科) ,  飯塚和幸 (タムラ製作所) ,  倉又朗人 (タムラ製作所) ,  増井建和 (光波) ,  嘉数誠 (佐賀大 大学院工学研究科) ,  嘉数誠 (佐賀大 グリーンエレクトロニクス研)
資料名： 結晶成長国内会議予稿集(CD-ROM)  (JCCG予稿集(CD-ROM))
巻： 42nd  ページ： ROMBUNNO.10PS20  発行年： 2012年 
JST資料番号： L6730B  ISSN： 2188-7268  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化ガリウム ,  β相 ,  *単結晶 ,  *融液成長 ,  *X線トポグラフィー ,  シンクロトロン放射 ,  改変 ,  化合物半導体 ,  *双晶化

分類 (2件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： β-Ga2O3 ,  単結晶 ,  シンクロトロン ,  X線トポグラフィー ,  評価