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J-GLOBAL ID:201302238410821606   整理番号:13A1792001

金属ドットアレイを組み合わせたSAWのジャイロ作用に関する理論的解析

Theoretical analysis on SAW gyroscopic effect combining with metallic dot array
著者 (4件):
資料名:
巻: 2012 Vol.3  ページ: 2412-2415  発行年: 2012年 
JST資料番号: A0437C  ISSN: 1948-5719  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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SAWベースのジャイロスコープの感度を上げるためには,金属ドットアレイを使うことが有効であるとされており実験結果も得られているが,著者等の知る限りセンサ応答メカニズムに関する理論的解析は行われていない。本稿では,金属ドットからの質量負荷の寄与を考慮したSAWのジャイロ作用に関する理論フォームを,部分波解析手法を使うことによって確立した。正規化された外部の回転に依存する速度シフトを多様な金属材料の事例で計算し,これをSAW伝播経路に沿って被覆した金属ドットとして考慮した。重金属ドットはセンサの応答を速め,金属ドットの厚みはセンサ性能に影響を及ぼす主要要因であって,Au層が厚くなると検出感度が上昇した。
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分類 (2件):
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操縦・制御系統  ,  力学 
タイトルに関連する用語 (4件):
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