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J-GLOBAL ID：201302238852269155   整理番号：13A0486639

太陽電池の製造のためのレーザビーム成形の限界の拡大

Extending the limits of laser beam shaping for pv-cell manufacturing

著者 (2件)： STEINER I. (LIMO Lissotschenko Mikrooptik GmbH, Dortmund, DEU) ,  MITRA T. (LIMO Lissotschenko Mikrooptik GmbH, Dortmund, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8473  ページ： 84730N.1-84730N.6  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 太陽電池の製造においてレーザ照射コンタクト法やレーザドーピング法などが広く利用されている。レーザビームをGaussビームなどの様々な形状に成形することで,製造工程の原価を低減することができる。また,レーザ照射コンタクト法では加工精度が向上する可能性がある。本論文では,レーザビーム成形法において,レーザビームが太陽電池の性能に及ぼす影響について検討した。特に,Gaussビームをトップハット型ビームに変換する変換器の主設計パラメータを解析した。スケールパラメータの概念を導入し,エッジ先鋭度との関係を論じた。また。高速度スキャナや材料処理法も検討した。この結果,156mmのウエハにおいて50μmのトップハット型ビームを数秒で走査できることを示した。

シソーラス用語： スケールパラメータ ,  フォトドーピング ,  レーザ照射 ,  *レーザビーム ,  *ビーム成形 ,  *太陽電池 ,  生産工程 ,  工作精度 ,  走査装置 ,  *レーザ加工 ,  Gaussビーム ,  原価低減 ,  ウエハ【IC】 ,  限界条件
準シソーラス用語： ケイ素ウエハ ,  レーザドーピング

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 太陽電池 ,  レーザビーム成形 ,  限界 ,  拡大