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J-GLOBAL ID：201302240713208545   整理番号：12A1797910

MEMSホットフィルムセンサの開発

Development of MEMS Hot-film Sensors

著者 (4件)： JOHNSON G.A. (BAE Systems ATC, Bristol, GBR) ,  HUCKER M.J. (BAE Systems ATC, Bristol, GBR) ,  MORLEY C. (BAE Systems ATC, Bristol, GBR) ,  WARSOP C. (BAE Systems ATC, Bristol, GBR)
資料名： Measurement + Control  (Measurement + Control)
巻： 45  号： 4  ページ： 122-126  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： E0293B  ISSN： 0020-2940  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 飛行機の翼の状態を検出するセンサは,翼面上に置くため寸法が小さい必要があり,シリコンチップ製造法を用いて容易に作成できるMEMSデバイスが興味を引いている。BAEシステムズ社では,この用途のために,MEMSホットフィルムセンサの開発をしてきた。本稿では,雨滴の衝撃に対するロバスト性や環境劣化耐性などを含む,センサ設計について説明し,環境試験の結果について述べる。

シソーラス用語： *センサ ,  MEMS ,  環境試験 ,  *主翼 ,  半導体チップ ,  水滴 ,  衝撃 ,  劣化
準シソーラス用語： *MEMSセンサ ,  シリコンチップ ,  雨滴 ,  環境劣化

分類 (1件)： 飛しょう体の設計・構造  (QK04010H)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  開発