文献

J-GLOBAL ID：201302241158638241   整理番号：13A0532558

LCD成分検査におけるMTF方式を使用した自動焦点解像度推定

Auto-focus Resolution Estimation Using MTF Method in LCD Components Inspection

著者 (4件)： Li Qi (Instrumentation Sci. and Optical Electronic Engineering Coll., Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  Lu Rongsheng (Instrumentation Sci. and Optical Electronic Engineering Coll., Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  Wang Chengshun (Instrumentation Sci. and Optical Electronic Engineering Coll., Hefei Univ. of Technol., Hefei) ,  Fu Yan (Instrumentation Sci. and Optical Electronic Engineering Coll., Hefei Univ. of Technol., Hefei)
資料名： Guangdian Gongcheng  (Guangdian Gongcheng)
巻： 39  号： 3  ページ： 57-65  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2092A  ISSN： 1003-501X  CODEN： GUGOEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： TFT検査装置が自動焦点を行っているときには焦点が変化するので,装置の解像度は当然変化する。従って,装置の実際の解像度のために高速推定方式を提供することが必要である。総解像度はカメラ解像度とレンズ解像度の製品なので,最初,カメラのコントラスト限界を全種類のノイズモデル基づき設定した。次に,LCD白と黒の棒フリンジを使用した。その周波数はしだいに変化しレンズのMTF退化を推定した。最後に,解像度とコントラスト間の関係から,周波数からの空間切取りは最高カメラコントラスト区別条件で撮像システムの薄黒いぼやけ最小差を区別して計算することができる。実験結果は,光学検査装置を携帯電話のバックグラウンド光パネルの欠陥を検査するために使用した場合,品目の方式は17μm未満の実際の解像度を推定し,コントラスト試験では,17μmを超える校正サンプル欠陥は,装置で明確に撮影できることを示している。これらの結果は提示方式の有効性を証明している。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 焦点合せ ,  分解能 ,  *液晶ディスプレイ ,  光学伝達関数 ,  バックグラウンド ,  モデル ,  画像処理システム ,  コントラスト ,  携帯電話
準シソーラス用語： 自動焦点 ,  解像度 ,  *LCD【表示装置】 ,  MTF【関数】 ,  ノイズモデル ,  撮像システム ,  実験結果

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： LCD ,  検査 ,  MTF ,  自動焦点 ,  解像度 ,  推定