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J-GLOBAL ID：201302241527176362   整理番号：13A0994408

ステンレスを基材とするZnO振動型エナジーハーベスタの開発

Vibration based Energy Harvester Employing ZnO Film on the Stainless Steel Substrate

著者 (4件)： 細川翔多 (東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻) ,  原基揚 (東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻) ,  大口裕之 (東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻) ,  桑野博喜 (東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 133  号： 4  ページ： 126-127 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ワイヤレスセンサネットワーク構築のための自立電源として鉛を含まず環境適合性に優れたAl/ZnO/SUS構造の振動型エナジーハーベスタを開発し特長等の概要を示した。基材として破壊靭性に優れるステンレスを採用しスパッタリング法によりZnOを成膜しアニール処理により結晶性を改善したと述べた。圧電薄膜を用いたエナジーハーベスタで出力電圧低下の原因となるピンホ-ル対策として被覆性に優れる化学気体成長法によりZnO膜上にSiO₂を堆積させた発電素子を試作した。発電特性の評価においてSiO₂層の有無による2種の発電素子を比較し,SiO₂の挿入により発電特性が大きく改善されることを示した。

シソーラス用語： オーステナイト系ステンレス鋼 ,  *エネルギー供給 ,  *酸化亜鉛 ,  *振動エネルギー ,  *発電 ,  圧電気 ,  半導体薄膜 ,  振動振幅 ,  破壊靱性 ,  二酸化ケイ素 ,  電力効率 ,  電気抵抗率 ,  センサネットワーク ,  無線伝送 ,  X線回折
準シソーラス用語： SUS304 ,  エネルギー収穫 ,  振動発電 ,  負荷抵抗 ,  無線センサネットワーク ,  環境発電

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  その他の発電  (NB03140M)

引用文献 (4件)：

• 桑野博喜. 通信における情報センシングの研究開発-センサ・コミュニケーション・ソサエティを目指して. NTT R&D. 1993, 42, 913
• 加藤誠軌. X線回折分析. 1990, 207-208
• IGASAKI, Y. Substrate temperature dependence of electrical properties of ZnO:Al epitaxial films on sapphire (1210). J. Appl. Phys. 1991, 69, 4, 2190
• LIAMG, C. A High-Voltage, Solid-State Battery System II. Fabrication of Thin-Film Cells. J. Electrochem. Soc. 1969, 116, 10, 1452

タイトルに関連する用語 (3件)： ステンレス ,  ZnO ,  開発